影响薄膜质量的工艺要素：1。真空度的影响2。沉积速率的影响3。基片温度的影响4。离子轰击的影响5。基片清洁的影响6。基片材料的影响7。膜层材料的影响8。蒸发方式的影响9。烘烤处理的影响针对不同的问题要有不同的分析，希望对你有所帮助。
