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硅片清洗工序中，sc-1 sc-2化学清洗液PH值怎样算？
硅片清洗工序中，sc-1 sc-2化学清洗液PH值怎样算？
2025-06-23 04:08:23
推荐回答（1个）
回答1：
标准RCA 溶液配比浓度大：SC1氨水：双氧水：水=1：1：5-1：2：7
SC2氯化氢：双氧水：水=1：1：6-1：2：8
氯化氢浓度37% 氨水浓度27% 双氧水30%
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